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专业代理欧美日,全进口仪器仪表、工业备品备件、燃油加注设备等,主要包括:压力表、压力开关、压力传感器、 测力传感器、 压力校验仪、温度开关、温湿度传感器、温控阀、风速传感器、露点仪、油中水分传感器、温度校验仪、流量开关、流量计、液位开关、液位变送器、编码器、燃油及尿素冷却液加注设备等产品。

美国艾里卡特ALICAT气体质量流量计M-500SCCM-D气体流量控制器MCR-500SLPM-PROFIBUS

发布时间:2020-10-27

浏览次数:72

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ALICAT设备被使用在全球不同领域中,如:科学研究、泄漏测试、环境监测、真空镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、制药、工业、过程控制、实验室、OEM、替换热式质量流量计、泄漏测试,计量以及过程工艺气体测量等。

M-0.5SCCM(2.5 sμlm)-M4000SLPM(4800SLPM)
美国ALICAT艾利凯特质量流量计、质量流量控制器操作简单、通用性强,多功能数字显示屏动态显示质量流量、体积流量、温度、压力及设定值等过程参数;所有设备附有NIST可溯源校准证书、用户支持及有条件的终身质保。
25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia (三种工况供切换)
气体选择(Gas Select)5.0版预置98种常用气体:
若为腐蚀性气体或制冷剂,请参见MS系列质量流量计。

气体编辑器(COMPOSER) 为气体选择(Gas Select)功能5.0版大亮点,允许用户自定义20组混合气体,每组可混合5种气体。

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美国ALICAT艾利凯特气体质量流量计
M 质量流量计
MW低压损质量流量计 上图选配背光彩色显示屏
MW 低压损质量流量计(上图选配背光彩色显示屏)
Whisper低压损质量流量计
MW 大流量低压损质量流量计(上图选配背光彩色显示屏)
美国ALICAT艾利凯特M大流量质量流量计 4000 slpm
M 大流量质量流量计(4000 slpm)

质量流量计 7-30 Vdc (4-20 mA 信号输出须 15-30 Vdc)
供电电流 0.040 Amp (适用于 4-20 mA 模拟信号输出)

质量流量计用来测量过程气体的流量,必须精密、可靠、通用性强且性价比高,美国ALICAT艾利凯特M系列质量流量计同时兼容模拟与数字通讯,满足用户所有需求。
高精度、实时、多参数测量

同时测量质量流量、体积流量、压力及温度,多至130种预置气体,或通过气体编辑器COMPOSER自定义混合气…台美国ALICAT艾利凯特质量流量计集成了所有功能,无论过程系统怎样多变,都能确保测量过程的高精度可靠。

岂止于快

内置COMPOSER气体编辑器允许用户自定义混合气体!
5毫秒快速响应
瞬间启动、无需预热
独立工作:无需连接电脑或PLC
屏幕显示多种测量参数:质量流量、体积流量、压力和温度
数字信号及模拟量信号输出
美国ALICAT艾里卡特MCW/MCPW/MCRW/MCHW/MCRWH低压损气体质量流量控制器
MCW-0.5SCCM-D
MCW-1SCCM-D
MCW-2SCCM-D
MCW-5SCCM-D
MCW-10SCCM-D
MCW-20SCCM-D
MCW-50SCCM-D
MCW-100SCCM-D
MCW-200SCCM-D
MCW-500SCCM-D
MCW-1SLPM-D
MCW-2SLPM-D

MCPW-5SLPM-D
MCPW-10SLPM-D

MCHW-5SLPM-D
MCHW-10SLPM-D

MCRW-5SLPM-D
MCRW-10SLPM-D
MCRW-20SLPM-D
MCRW-40SLPM-D
MCRW-50SLPM-D
MCRW-100SLPM-D
MCRW-250SLPM-D
MCRW-500SLPM-D
MCRWH-1000SLPM-D-PAR

艾里卡特MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MCDW-0.5SCCM-D
MCDW-1SCCM-D
MCDW-2SCCM-D
MCDW-5SCCM-D
MCDW-10SCCM-D
MCDW-20SCCM-D
MCDW-50SCCM-D
MCDW-100SCCM-D
MCDW-200SCCM-D
MCDW-500SCCM-D
MCDW-1SLPM-D
MCDW-2SLPM-D





ALICAT流量控制器

MC系列气体质量流量控制器
响应式气体流量控制,压力波动
性能的质量流量控制器只需将流量保持在您的设定值。艾里卡特MC系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值,并保持该设定值,即使在压力突然增加的情况下,亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保相关产品能快速实现稳定控制。
多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
耐用。MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。


性能
可用量程:大0-5000 slpm;小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
可调比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)
标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
可重复性:0.2%满量程
标准质量流量控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
无需预热时间
 
工作条件
兼容气体:98(MC系列)或130(MCS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度:-10°C至+60°C
大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
耐受压力:175 psig(190 psia)
 
包装清单
MC系列气体质量流量控制器(电源需另行订购)
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书
 
配件(需另行订购)
过程端口接头和过滤器
电源
通讯线缆和转换线缆
BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件
查找配件
 
型号变体
低压损型号,多60 psia(MCW系列)
高压型号,160-320 psia(MCQ系列)
阀门内置(确保与SEMI端口长度一致)型号(MCE系列)
配备气动截止阀的型号,适合真空应用(MCV系列)
腐蚀性气体型号(MCS系列,见下文)
 
阀门选项
您可以为您的MC系列气体质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持佳性能。
MC系列—选配小型比例控制阀,适用于20 slpm及以下量程
具有PCA名称的MC系列—选配高性能比例控制阀,适用于压力较高的某些应用
MCP系列—选配大孔径的小型比例控制阀(对耐腐蚀系列产品不适用)
MCH系列—选配锤头状配置,将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门。
MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于50 slpm及以上流量
 
腐蚀性气体(MCS系列)
MC系列气体质量流量控制器中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCS系列)可供选择。该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程,需采用316L不锈钢,在这种情况下,我们可以同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门(PCA型)和流量仪表主体部分升级为316L材质。
 
结构选项
通讯协议(模拟通讯,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
显示屏(单色或彩色,内置或面板安装)
工艺连接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头)
弹性体材料(氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂)
IMG_2811.jpgIMG_2813.jpgM2.pngM-4000SLPM-D.jpg
MC
MCP
MCH
MCR
MCS
MCHS
MCRS

艾里卡特MC系列气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。

M-50SCCM-D_gas air.jpg

MC-0.5SCCM-D
MC-1SCCM-D
MC-2SCCM-D
MC-5SCCM-D
MC-10SCCM-D
MC-20SCCM-D
MC-50SCCM-D
MC-100SCCM-D
MC-200SCCM-D
MC-500SCCM-D
MC-1SLPM-D
MC-2SLPM-D
MC-5SLPM-D
MC-10SLPM-D
MC-20SLPM-D
艾里卡特MCP系列气体质量流量控制器采用大孔径的小型阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCP-10SLPM-D
MCP-20SLPM-D
MCP-50SLPM-D
MCP-100SLPM-D
MCP-250SLPM-D

艾里卡特MCH系列气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门,适用于非腐蚀性气体。

A12.png

MCH-10SLPM-D
MCH-20SLPM-D
MCH-50SLPM-D
MCH-100SLPM-D
MCH-250SLPM-D
MCH-500SLPM-D
MCPH-50SLPM-D
MCPH-100SLPM-D
MCPH-250SLPM-D
艾里卡特MCR系列气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体。
MCR-50SLPM-D
MCR-100SLPM-D
MCR-250SLPM-D
MCR-500SLPM-D
MCR-1000SLPM-D
MCR-1500SLPM-D
MCR-2000SLPM-D-PAR
MCR-3000SLPM-D-PAR
MCRH-5000SLPM-D-PAR

艾里卡特MCS系列气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量,适用于腐蚀性气体。

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MCS-0.5SCCM-D
MCS-1SCCM-D
MCS-2SCCM-D
MCS-5SCCM-D
MCS-10SCCM-D
MCS-20SCCM-D
MCS-50SCCM-D
MCS-100SCCM-D
MCS-200SCCM-D
MCS-500SCCM-D
MCS-1SLPM-D
MCS-2SLPM-D
MCS-5SLPM-D
MCS-10SLPM-D
MCS-20SLPM-D
艾里卡特MCHS系列气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,将两个阀门并排成对,用作一个阀门,实现对高压应用的更强大控制。
MCHS-10SLPM-D
MCHS-20SLPM-D
MCHS-50SLPM-D
MCHS-100SLPM-D
MCHS-250SLPM-D
MCHS-500SLPM-D
艾里卡特MCRS系列气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制。
MCRS-50SLPM-D
MCRS-100SLPM-D
MCRS-250SLPM-D
MCRS-500SLPM-D
MCRS-1000SLPM-D
MCRS-1500SLPM-D
MCRS-2000SLPM-D-PAR
MCRS-3000SLPM-D-PAR

MCRHS-5000SLPM-D-PAR

IMG_2807.jpg

美国艾里卡特ALICAT便携式气体质量流量计 MB-10SLPM-D  
美国艾里卡特ALICAT液体流量控制器 LC-500sccm  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量控制器 SZ020-LK2-A-L-C13-R4-DB9M-DS-052-0.5-104  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量控制器 MCH-50SLPM-D-DB15H5M 5IN GAS:AIR  
美国ALICAT艾里卡特质量流量计(气耗仪) YQZ020-LL1-Y-L-C13-LJ-DB9M-058-6000-101  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量计 M-50SCCM-D/5M,GAS:AIR  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量计 M-20SLPM-D(±0.8Rd+0.2FS)%  
美国艾里卡特ALICAT双阀压力控制器 PCD-15PSIG-D-PVC30-IPC/5P,5IN,P1:50?PSIG,P2:ATM,VOL:100L,CLR  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量控制器 MCRWH-1000SLPM-D-PAR  
美国艾里卡特ALICAT双阀压力控制器 PCD-100PSIG-D/5P  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量控制器 MC-50SLPM-D/5P,52V,RIN,5IN,GAS:He,TOT,HC  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量控制器 MCR-1500SLPM-D/5P,52V,RIN,5IN,GAS:AIR  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量计 YCZ020-LLI-E-L-C13-DB9M-10-104  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量计 MW-100SLPM-D  
美国ALICAT专业版软件 FLOW vison  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量计 SZ020-LL1-Q-L-C13-DB9M-052-100-101  
美国艾里卡特ALICAT便携式气体质量流量计 MB-1000SLPM-D/5M  
美国ALICAT转换接头 SS1210-1-12  
美国ALICAT转换接头 SS810-1-12  
美国ALICAT转换接头 SS400-1-12  
美国艾里卡特ALICAT高精度质量流量控制器 MCR-500SLPM-D/HC  
美国艾里卡特ALICAT高精度质量流量控制器 MCR-250SLPM-D/HC  
美国艾里卡特ALICAT双阀压力控制器 PCD-5PSIG-D  
美国艾里卡特ALICAT带显示耐腐蚀气体质量流量控制器 SZ020-LKF5-J-L-C13-R4-DB9M-052-500-104  
美国艾里卡特ALICAT带显示耐腐蚀气体质量流量控制器 SZ020-LKF5-G-L-C13-R4-DB9M-052-50-104  
美国艾里卡特ALICAT带显示低压损质量流量计 SZ020-LL1-M-L-C13-DB9M-050-3000-104  
美国艾里卡特ALICAT带显示低压损质量流量计 SZ020-LL1-J-L-C13-DB9M-050-500-104  
美国艾里卡特ALICAT带显示低压损质量流量计 SZ020-LD12-M-L-C13-DB9M-050-3000-104  
美国艾里卡特ALICAT带显示低压损质量流量计 SZ020-LD12-J-L-C13-DB9M-050-500-104  
美国艾里卡特ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器 MCRS-50SLPM-D-DB9M-G/CM,C2P,CIN,GAS:C2H2  
美国艾里卡特ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器 MCS-20SLPM-D-DB9M-G/CM,C2P,CIN,GAS:O2  
美国艾里卡特ALICAT便携式气体质量流量计 MB-5SLPM-D  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量计 SZ020-LL1-O-L-C13-052-20-101  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量计 M-1000SLPM-D/5M,GAS:AIR  
美国艾里卡特ALICAT防爆型气体流量控制器 MC-500SCCM-D-X  
美国艾里卡特ALICAT防爆型耐腐蚀气体流量控制器 MCS-500SCCM-D-X  
美国艾里卡特ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器 MCS-500SCCM-D  
美国艾里卡特ALICAT防爆型气体质量流量计 MS-500SCCM-D-X(±0.8Rd+0.2FS)%  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量计 MS-500SCCM-D(±0.8Rd+0.2FS)%  
美国艾里卡特ALICAT防爆型气体质量流量计 M-500SCCM-D-X(±0.8Rd+0.2FS)%  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量计 M-1000SLPM-D-DB9/5M,GAS:He  
美国艾里卡特ALICAT液体质量流量计 L-1SLPM-D  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量控制器 MCS-10SCCM-D-HC 5M,5IN,GAS:AIR  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量控制器 MCR-500SLPM-D/5M,5IN,GAS: Ar  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量控制器 MCR-250SLPM-D/5M,5IN,GAS: Ar  
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美国艾里卡特ALICAT压力控制器PCS-500PSIG-D  
PCS-100PSIG-D  
PCS-30PSIG-D  
PCS-15PSIG-D  
PCS-5PSIG-D  
PC-500PSIG-D  
PC-100PSIG-D  
PC-30PSIG-D  
PC-15PSIG-D  
PC-5PSIG-D  
PC-1PSIG-D  
PC-2INH2OG-D  
美国艾里卡特ALICAT低压损便携式气体质量流量计 MWB-40SLPM-D  
美国艾里卡特ALICAT便携式气体质量流量计 MB-100SLPM-D  
美国艾里卡特ALICAT便携式气体质量流量计 MB-10SCCM-D  
美国艾里卡特ALICAT耐腐蚀高精度便携式气体质量流量计 MBS-100SLPM-D/5M  

美国艾里卡特ALICAT压力控制器 PC-15PSIA-D-485-IPC  5P/5IN  

A13.png

美国艾里卡特ALICAT真空气体质量流量控制器 MCV-10SLPM-D,GAS:AIR  
美国艾里卡特ALICAT低压降气体质量流量计 MB-100SCCM-D(0.4%FS)  
美国艾里卡特ALICAT低压降气体质量流量计 MWB-20SLPM-D(Air)  
美国艾里卡特ALICAT低压降气体质量流量计 MWB-10SLPM-D(Air)  
美国艾里卡特ALICAT流量校准仪 FP-25  
美国ALICAT艾里卡特RS232多功能集线盒套装 BB9-232  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量计 M-100SLPM-D,高精度0.4%  
腐蚀性气体流量计MS-100SLPM-D,高精度0.4%  
美国艾里卡特ALICAT耐腐蚀型气体质量流量计 MS-100SLPM-D-5VCRM/CM,GAS:SIH4  
美国艾里卡特ALICAT转换接头 SS-400-1-2  

美国艾里卡特ALICAT转换接头 SS-200-1-2  

A14.png

美国艾里卡特ALICAT气体质量流量计 M-200SCCM-D(±0.8Rd+0.2FS)%  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量计 M-1000SCCM-D(±0.8Rd+0.2FS)%  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量计 M-500SCCM-D(±0.8Rd+0.2FS)%  
美国艾里卡特ALICAT压力控制器 PC-30PSIG-D  
美国艾里卡特ALICAT压力控制器 PC-100PSIG-D  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量计 M-50sccm(±0.4Rd+0.2FS)%  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量控制器 MCR-500SLPM-PROFIBUS/GAS:Air  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量计 M-10SLPM-D/5M,GAS:AIR  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量控制器 MC-25SLPM-PMCEMS-REV4  
美国艾里卡特ALICAT气体质量流量控制器 MC-50SLPM-D,GAS:AIR  

美国艾里卡特ALICAT气体质量流量控制器 MCRH-5000SLPM  

A11.png

美国艾里卡特ALICAT防爆质量流量计 SZ020-LL1-W-L-C1-X  
美国艾里卡特ALICAT防爆质量流量计 SZ020-LL1-S-L-C1-X  
美国艾里卡特ALICAT空气质量流量控制器 MC-5SLPM-D-X/5M,5IN,TOT,GAS:AIR  
美国艾里卡特ALICAT空气质量流量控制器 PCD-15PSIG-D/5P,5IN,RANGE:900mbar,GAS:Air  
美国艾里卡特ALICAT低压损质量流量计 MW-0.5SCCM-D  
美国艾里卡特ALICAT空气质量流量控制器 MCR-100SLPM-D  
美国艾里卡特ALICAT低压损气体质量流量控制器 MCRW-100SLPM-D/CM  
美国艾里卡特ALICAT液体质量流量控制器 LCS-500SCCM  
美国艾里卡特ALICAT液体质量流量控制器 LC-200SCCM-D  

水流量控制器LC-100SCCM-D  

A10.png

美国艾里卡特ALICAT液体质量流量控制器 LC-50SCCM-D  
美国艾里卡特ALICAT液体质量流量控制器 LC-20SCCM-D  
美国艾里卡特ALICAT液体质量流量控制器 LC-10SCCM-D  
美国艾里卡特ALICAT液体质量流量控制器 LC-5SCCM-D  
美国艾里卡特ALICAT液体质量流量控制器 LC-1SCCM-D-PCA13  
美国艾里卡特ALICAT液体质量流量控制器 LC-1SCCM-D-PCA12  
美国艾里卡特ALICAT液体质量流量控制器 LC-0.5SCCM-D-PCA11  
美国艾里卡特ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器 MCW-500SLPM-D  
美国艾里卡特ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器 MCW-250SLPM-D  
美国艾里卡特ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器 MCW-100SLPM-D  
美国艾里卡特ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器 MCW-50SLPM-D  
ALICAT质量流量计&质量流量控制器 气体质量流量控制器 MCW系列低压损气体质量流量控制器 
A2.png
MCW系列低压损气体质量流量控制器
响应式气体流量控制,保证系统影响小
Whisper系列低压损气体质量流量控制器,适用于在几乎没有可用系统压力的情况下控制质量流量和体积流量。低压损将保证对系统产生小影响,实现接近大气压力条件下的流量控制并缩短系统响应时间。我们将根据您的应用参数,为您定制阀门和PID调节功能,确保产品能够在保持低压损的同时实现快速、稳定的控制。
多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
耐用。MCW系列低压损气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
更多产品信息和资讯,欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
Specs
定制
零件编号
A3.png
性能
可用量程:大0-1000 slpm;小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
可调比:200:1(MC系列)
标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
可重复性:0.2%满量程
标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
无需预热时间
 
工作条件
兼容气体:98种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度:-10°C至+60°C
大内部压力(静态):45 psig(60 psia)
耐受压力:175 psig(190 psia)
STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)
 
包装清单
MCW系列低压损气体质量流量控制器(电源需另行订购)
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书
 
配件(需另行订购)
过程端口接头和过滤器
电源
通讯线缆和转换线缆
BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件
查找配件
 
型号变体
标准配置型号,高160 psia(MC系列)
高压应用型号:160-320 psia(MCQ系列)
 
阀门选项
您可以为您的MCW系列低压损气体质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持佳性能。
MCW系列—选配小型比例控制阀,适用于2 slpm及以下量程
MCPW系列—选配大孔径的小型比例控制阀(对耐腐蚀系列产品不适用)
MCHW系列—选配锤头状配置,将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门。
MCRW系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于5 slpm及以上流量
 
结构选项
通讯协议(模拟通讯,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
显示屏(单色或彩色,内置或面板安装)
工艺连接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头)
弹性体材料(氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂)
 
性能选项
流量累加器
集成式电位计控制
高精度或自定义校准
查看所有选择项目
MCW
MCPW
MCHW
MCRW
艾里卡特MCW系列低压损气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MCW-0.5SCCM-D
MCW-1SCCM-D
MCW-2SCCM-D
MCW-5SCCM-D
MCW-10SCCM-D
MCW-20SCCM-D
MCW-50SCCM-D
MCW-100SCCM-D
MCW-200SCCM-D
MCW-500SCCM-D
MCW-1SLPM-D
MCW-2SLPM-D
艾里卡特MCPW系列低压损气体质量流量控制器采用大孔径的小型阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCPW-5SLPM-D
MCPW-10SLPM-D
艾里卡特MCHW系列低压损气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCHW-5SLPM-D
MCHW-10SLPM-D
艾里卡特MCRW系列低压损气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体。
MCRW-5SLPM-D
MCRW-10SLPM-D
MCRW-20SLPM-D
MCRW-40SLPM-D
MCRW-50SLPM-D
MCRW-100SLPM-D
MCRW-250SLPM-D
MCRW-500SLPM-D
MCRWH-1000SLPM-D-PAR
 
快速泄漏测试
对阀门或传感器等体积较小的元件进行泄漏测试时,将一台MCW系列低压损气体质量流量控制器设置在压力控制模式,使其在实时提供准确的质量流量和体积流量读数的同时,还能确保被测试装置保持恒定压力。按照此种配置方法,仅一台MCW系列低压损气体质量流量控制器便能执行压力控制器和质量流量计的功能。
点击此处查看完整APP说明
 
 
 
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 质量流量计&质量流量控制器 气体质量流量控制器 MCQ系列高压气体质量流量控制器 
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model
MCQ系列高压气体质量流量控制器
响应式气体流量控制,适用于高压应用
MCQ系列气体质量流量控制器,同我们的标准控制器一样,能对需要较高管线压力(160-320 psia)的应用环境进行快速控制响应。这款高压应用质量流量控制器可快速达到新的设定值,并保持该设定值,即使在压力突然增加的情况下,亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保相关产品能够快速实现稳定控制。
多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
耐用。MCQ系列高压气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
更多产品信息和资讯,欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
Specs
定制
零件编号
 
性能
可用量程:大0-5000 slpm;小0-10 sccm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
可调比:50:1
校准精度(NIST可溯源):±2%满量程
可重复性:0.2%满量程
标准控制器响应时间常数:50-100ms
无需预热时间
 
工作条件
兼容气体:98(MC系列)或130(MCS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度:-10°C至+60°C
大内部压力(静态):305 psig(320 psia)
耐受压力:400 psig(415 psia)
STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)
 
包装清单
MCQ系列高压气体质量流量控制器(电源需另行订购)
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书
 
配件(需另行订购)
过程端口接头和过滤器
电源
通讯线缆和转换线缆
BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件
查找配件
 
型号变体
腐蚀性气体型号(MCS系列,见下文)
另有:
标准配置型号,适用于高达160 psia的环境(MC系列)
低压损型号,多60 psia(MCW系列)
 A1.png
阀门选项
您可以为您的气体质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持佳性能。
MCQ系列—选配小型比例控制阀,适用于20 slpm及以下量程
具有PCA名称的MCQ系列—选配高性能比例控制阀,适用于压力较高的某些应用
MCH系列—选配锤头状配置,将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门。
MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于50 slpm及以上流量
 
腐蚀性气体(MCQS系列)
MCQ系列高压气体质量流量控制器中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCQS系列)可供选择。该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程,需采用316L不锈钢,在这种情况下,我们可同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门(PCA型)和流量仪表主体部分升级为316L材质。
 
结构选项
通讯协议(模拟通讯,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
显示屏(单色或彩色,内置或面板安装)
工艺连接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头)
弹性体材料(氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂)
 
性能选项
流量累加器
集成式电位计控制
高精度或自定义校准
查看所有选择项目
MCQ
MCHQ
MCRQ
MCQS
MCHQS
MCRQS

艾里卡特MCQ系列高压气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。

A4.pngMCR-P1000032wh_1200.jpgmc2.png

MCQ-10SCCM-D
MCQ-20SCCM-D
MCQ-50SCCM-D
MCQ-100SCCM-D
MCQ-200SCCM-D
MCQ-500SCCM-D
MCQ-1SLPM-D
MCQ-2SLPM-D
MCQ-5SLPM-D
MCQ-10SLPM-D
MCQ-20SLPM-D
艾里卡特MCHQ系列高压气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCHQ-10SLPM-D
MCHQ-20SLPM-D
MCHQ-50SLPM-D
MCHQ-100SLPM-D
MCHQ-250SLPM-D
艾里卡特MCRQ系列高压气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体。
MCRQ-50SLPM-D
MCRQ-100SLPM-D
MCRQ-250SLPM-D
MCRQ-500SLPM-D
MCRQ-1000SLPM-D
MCRQ-1500SLPM-D
MCRQ-2000SLPM-D-PAR
MCRQ-3000SLPM-D-PAR
MCRHQ-5000SLPM-D-PAR
艾里卡特MCQS系列高压气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量,适用于腐蚀性气体。
MCQS-10SCCM-D
MCQS-20SCCM-D
MCQS-50SCCM-D
MCQS-100SCCM-D
MCQS-200SCCM-D
MCQS-500SCCM-D
MCQS-1SLPM-D
MCQS-2SLPM-D
MCQS-5SLPM-D
MCQS-10SLPM-D
MCQS-20SLPM-D
艾里卡特MCQS系列高压气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量,适用于腐蚀性气体。
MCHQS-10SLPM-D
MCHQS-20SLPM-D
MCHQS-50SLPM-D
MCHQS-100SLPM-D
MCHQS-250SLPM-D
艾里卡特MCHQS系列高压气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,将两个阀门并排成对,用作一个阀门,实现对高压应用的更强大控制。
MCRQS-50SLPM-D
MCRQS-100SLPM-D
MCRQS-250SLPM-D
MCRQS-500SLPM-D
MCRQS-1000SLPM-D
MCRQS-1500SLPM-D
MCRQS-2000SLPM-D-PAR
MCRQS-3000SLPM-D-PAR
MCRHQS-5000SLPM-D-PAR
MCE-P1010732wh_1200.jpgmc3.png
MCT,MCTS系列换流型气体质量流量控制器
利用成比例流量控制功能完成换流
在多向气体质量流量控制器中,MCT系列换流型气体质量流量控制器可以减少库存并清理工作场所。位于上游的两个阀门允许切换气源。位于下游的两个阀门允许在单个气源上运行两个独立的过程系统。我们将根据您的应用参数,为您定制阀门和PID功能,确保实现各个方向的快速、温度控制。

多功能。MCT系列换流型气体质量流量控制器将单个气源用于两个独立的过程系统或者在单个过程系统中实现两个独立气源的切换。切换气源时,选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
耐用。MCT系列换流型气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
MCRW-Alicat-mass-flow-controller_1200-300x225.jpg
性能
可用量程:大0-5000 slpm;小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
可调比:200:1(MCT系列)或者100:1(MCTS系列)
标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
可重复性:0.2%满量程
标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
无需预热时间
工作条件

兼容气体:98种(MCT系列)或130种(MCTS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度:-10°C至+60°C
大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
耐受压力:175 psig(190 psia)
STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)
包装清单

MCT系列换流型气体质量流量控制器(电源需另行订购)
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书
配件(需另行订购)
过程端口接头和过滤器
电源
通讯线缆和转换线缆
BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件
M1.png
ALICAT质量流量计&质量流量控制器 气体质量流量控制器 MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器 
简单升级老化的热式流量控制器
艾里卡特MCE或MCV系列真空气体质量流量控制器是真空专用设备。MCE系列产品的特征如下:与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快,外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准气体质量流量控制器实现端对端的匹配连接。
MCV和MCE联系紧密,采用内置气动截止阀,适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上,防止在设定点为零时出现污染情况。
多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
耐用。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
更多产品信息和资讯,欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
定制
零件编号
Applications

性能
可用量程:大0-20 slpm;小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
可调比:200:1(MCE/MCV)或者100:1 (MCES/MCVS)
标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
可重复性:0.2%满量程
标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
气动阀漏气率(仅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(大值,氦气)
无需预热时间
 
工作条件
兼容气体:98种(MCE/MCV系列)或130种(MCES/MCVS系列)预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度:-10°C至+60°C
大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
耐受压力:175 psig(190 psia)
STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)
 
MCE或MCV系列包装清单:
MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器(电源需另行订购)
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书
 
配件(需另行订购)
过程端口接头和过滤器
电源
通讯线缆和转换线缆
BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件
查找配置
 
型号变体
阀门内置(确保与SEMI端口长度一致)型号(MCE系列)
阀门内置并加装气动截止阀的型号,适合真空应用(MCV系列)
腐蚀性气体型号(MCS系列,见下文)
另有:
阀门安装在外部的标准配置型号(MC系列)
 
阀门选项
您可以为您的质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持佳性能。
MCE系列—选配外部安装的小型比例控制阀
MCV系列—选配内部安装的小型比例控制阀以及外部下游安装的气动截止阀
 Alicat_Pulsed_Laser_Deposition-r1920b-e1520026180166-768x414.jpg
腐蚀性气体(MCES和MCVS系列)
MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCES和MCVS系列)可供选择。在该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。
 
结构选项
通讯协议(模拟通讯,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
显示屏(单色或彩色,内置或面板安装)
工艺连接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO配件)
弹性体材料(氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂)
 
性能选项
流量累加器
集成式电位计控制
高精度或自定义校准
查看所有选择项目
MCE
MCES
MCV
MCVS
艾里卡特MCE系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
MCE-20SCCM-D
MCE-50SCCM-D
MCE-100SCCM-D
MCE-200SCCM-D
MCE-500SCCM-D
MCE-1SLPM-D
MCE-2SLPM-D
MCE-5SLPM-D
MCE-10SLPM-D

MCE-20SLPM-D

mc4.png

艾里卡特MCES系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量,适用于腐蚀性气体。
MCES-0.5SCCM-D
MCES-1SCCM-D
MCES-2SCCM-D
MCES-5SCCM-D
MCES-10SCCM-D
MCES-20SCCM-D
MCES-50SCCM-D
MCES-100SCCM-D
MCES-200SCCM-D
MCES-500SCCM-D
MCES-1SLPM-D
MCES-2SLPM-D
MCES-5SLPM-D
MCES-10SLPM-D
MCES-20SLPM-D
艾里卡特MCV系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。MCV还配有一个下游用的气动截止阀。
MCV-0.5SCCM-D
MCV-1SCCM-D
MCV-2SCCM-D
MCV-5SCCM-D
MCV-10SCCM-D
MCV-20SCCM-D
MCV-50SCCM-D
MCV-100SCCM-D
MCV-200SCCM-D
MCV-500SCCM-D
MCV-1SLPM-D
MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
MCV-10SLPM-D
MCV-20SLPM-D
艾里卡特MCVS系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量,适用于腐蚀性气体。MCVS还配有一个下游用的气动截止阀。
MCVS-0.5SCCM-D
MCVS-1SCCM-D
MCVS-2SCCM-D
MCVS-5SCCM-D
MCVS-10SCCM-D
MCVS-20SCCM-D
MCVS-50SCCM-D
MCVS-100SCCM-D
MCVS-200SCCM-D
MCVS-500SCCM-D
MCVS-1SLPM-D
MCVS-2SLPM-D
MCVS-5SLPM-D
MCVS-10SLPM-D
MCVS-20SLPM-D
 
反应溅射气体流量控制
以50ms控制响应速度精确控制真空室内反应气体的分压以避免靶件喷涂过度,良好的分辨率保证了适当的原子释放,气动截止阀确保无流量时的正向切断。
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 MB便携式气体流量计.jpg
 质量流量计&质量流量控制器 气体质量流量控制器 BASIS系列OEM气体质量流量控制器 
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model
BASIS系列OEM气体质量流量控制器
OEM应用中的基础流量控制
对于大数额订单,BASIS系列OEM气体质量流量控制器,能为用户提供可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为原始设备制造商(OEM)无应力设备集成而设计的BASIS轻便灵巧、内置高精度MEMS传感器、并具有艾里卡特特有的快速阀门控制。
可靠。BASIS系列OEM气体质量流量控制器绝不会让您感到失望,NIST可溯源的精度与重复性使其在工作第700天时仍像天一样。
灵敏。您不会再因为压力峰值而毁了一整天。BASIS系列OEM气体质量流量控制器具有业内领先的控制速度和阀门调节,能带给用户的益处将远远超出预期。
兼容。BASIS系列OEM气体质量流量控制器应用范围相当广,轻便灵巧、多气体标定、模拟及数字双重通讯将为您的项目设计提供更大的灵活性。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
更多产品信息和资讯,欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
Specs
定制
零件编号
Applications
 
性能
可用量程:0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm(参见零件编号标签)
可调比:200:1(1/20和50 slpm)或100:1(100 sccm)
校准精度(NIST可溯源):±(1.5%读数+0.5%满量程)
可重复性:0.5%满量程
标准控制器响应时间常数:100ms(可利用PID调节功能调节)
预热时间:70ms,达到完整精度
 
工作条件
兼容气体:空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮(可通过串行连接选择气体);订购时还可以选择氦气或氢气校准(仅使用一种气体)
工作温度:0°C至+50°C
大内部压力(静态):对于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig(160 psia);对于0-20和0-50 slpm量程—60 psig(75 psia)
耐受压力:175 psig(190 psia)
STP: 25°C & 1 atm(14.696 psia)
 
包装清单
BASIS系列OEM气体质量流量控制器(电源需另行订购)
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书
 
配件(需另行订购)
过程端口接头和过滤器
通讯线缆
Flow Vision软件
查找配件
 
结构选项
通讯协议(0-5 Vdc模拟通讯,RS-232、RS-485、Modbus-RTU)
工艺连接件(NPT或SAE)
多气体校准(空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮)
单种气体校准(氦气、氢气)
BC
BC-C0100 (1-100 sccm)
BC-C1000 (10-1000 sccm)
BC-L0020 (0.2-20 slpm)
BC-L0050 (0.5-50 slpm)
 
OEM气体分析仪的流量控制
确保OEM分析仪器中精密流量测量。快速的阀门响应及高精度保证了传输到分析仪传感器的气体流量的可重复性和稳定性。外形灵巧、瞬时响应、数字模拟双重通讯使得BASIS系列OEM气体质量流量控制器可轻易集成于终端设备。
 
 
自动化气体混合
采用可瞬时进行精密测量的BASIS系列OEM气体质量流量控制器进行配气。迅速反馈到PLC或PC的模拟及数字信号允许用户实时调整流量设定值以达到预设混合比例。
 
 
艾里卡特Alicat液体流量控制器和流量计可准确完成水或甲醇、异丙醇、乙醇、氨、二甲基、戊烷、噻吩、标准异辛烷或庚烷等其它液体的流量测量并对其进行稳定控制。所有液体流量仪表均配备放液螺钉,方便拆除集气袋。

LC系列液体流量控制器特点如下:采用高速比例控制阀进行控制或分配应用。

对于没有控制阀的液体流量测量作业,请选择L系列液体流量计,实时测量流量、压力和温度。

LB系列便携式液体流量计加装了可充电电池,方便检验实验室外部的液体流量。

产品应用:
微流体直接流量控制(LC系列液体流量控制器)
直接将流量控制低至0.01 ccm(10 µlm),无需对液体顶空实施压力控制。
液体产品分配(LC系列液体流量控制器)
分配各种流速的液体产品,并对剂量进行精确控制。
液体流量特性测试(L系列液体流量计)
确定泵送流水流量或者医用导管盐水流量的特性。
冷却系统泄漏检测(LB系列液体流量计)
冷却系统泄漏测试过程中,对流速进行量化。

mc1.png
MCD系列双向气体质量流量控制器
全球全能的气体流量控制器
在多向气体质量流量控制器中,艾里卡特MCD系列是世界上台双向气体质量流量控制器。这款仪器从一个方向控制流入流动或密闭过程系统的流量,再倒转流向,还能同时完成各个方向流量、压力和温度的多元测量;或者在监控流速的同时利用压力控制功能控制进入密闭过程系统的流量,然后排空,且无需额外排气阀。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保实现对两个方向的快速、稳定的控制。

多功能。利用正压或真空控制一个或者两个方向的流量。或者控制进入流动或端闭过程系统的压力。(下载右侧信息图,了解流量图表。)在所有情况下,均可完成多元测量(包括对质量流量、体积流量、压力和温度的测量);此外还可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
连接。双向气体质量流量控制器利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
耐用。MCD系列双向气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。


性能
可用量程:大-5000至+5000 slpm;小-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
标准精度:±(0.8%读数+0.2%满量程),双向
高精度(选配):±(0.4%读数+0.2%满量程),双向
可重复性:0.2%满量程
标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
无需预热时间
工作条件

兼容气体:98种(MCD系列)或130种(MCDS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度:-10°C至+60°C
大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
耐受压力:175 psig(190 psia)
STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)
包装清单

MCD系列双向气体质量流量控制器(电源需另行订购)
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书
配件(需另行订购)

过程端口接头和过滤器
电源
通讯线缆和转换线缆
BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件
MCD系列双向气体质量流量控制器,常用型号:
MCD-0.5SCCM-D
MCD-1SCCM-D
MCD-2SCCM-D
MCD-5SCCM-D
MCD-10SCCM-D
MCD-20SCCM-D
MCD-50SCCM-D
MCD-100SCCM-D
MCD-200SCCM-D
MCD-500SCCM-D
MCD-1SLPM-D
MCD-2SLPM-D
MCD-5SLPM-D
MCD-10SLPM-D
MCD-20SLPM-D

MCPD-10SLPM-D
MCPD-20SLPM-D
MCPD-50SLPM-D
MCPD-100SLPM-D
MCPD-250SLPM-D

MCRD-50SLPM-D
MCRD-100SLPM-D
MCRD-250SLPM-D
MCRD-500SLPM-D
MCRD-1000SLPM-D
MCRD-1500SLPM-D
MCRD-2000SLPM-D-PAR
MCRD-3000SLPM-D-PAR

MCDS-0.5SCCM-D
MCDS-1SCCM-D
MCDS-2SCCM-D
MCDS-5SCCM-D
MCDS-10SCCM-D
MCDS-20SCCM-D
MCDS-50SCCM-D
MCDS-100SCCM-D
MCDS-200SCCM-D
MCDS-500SCCM-D
MCDS-1SLPM-D
MCDS-2SLPM-D
MCDS-5SLPM-D
MCDS-10SLPM-D
MCDS-20SLPM-D

MCRDS-50SLPM-D
MCRDS-100SLPM-D
MCRDS-250SLPM-D
MCRDS-500SLPM-D
MCRDS-1000SLPM-D
MCRDS-1500SLPM-D
MCRDS-2000SLPM-D-PAR
MCRDS-3000SLPM-D-PAR

MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器
全能的气体流量控制器(对系统影响极小)
在多向气体质量流量控制器中,Whisper系列双向质量流量控制器非常适用于在几乎没有可用系统压力的情况下控制质量流量和体积流量。低压损将保证对系统产生小影响,实现接近大气压力条件下的流量控制并缩短系统响应时间。艾里卡特MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器在非常全能的MCD系列双向流量控制器基础上增加了低压损优点。
MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器从一个方向控制流入流动或密闭过程系统的流量,再倒转流向,还能同时完成各个方向流量、压力和温度的多元测量;或者在监控流速的同时利用压力控制功能控制进入密闭过程系统的流量,接着排空,且无需额外排气阀。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保实现对两个方向的快速、稳定的控制。

多功能。MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器利用正压或真空控制一个或者两个方向的流量。或者控制进入流动或端闭过程系统的压力。(下载右侧信息图,了解流量图表。)在所有情况下,都可完成多元测量(包括对质量流量、体积流量、压力和温度的测量);此外还可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
连接。MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
耐用。MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。

性能

可用量程:大-5000至+5000 slpm;小-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号)
标准精度:±(0.8%读数+0.2%满量程),双向
高精度(选配):±(0.4%读数+0.2%满量程),双向
可重复性:0.2%满量程
标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
无需预热时间
工作条件

兼容气体:98种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度:-10°C至+60°C
大内部压力(静态):45 psig(60 psia)
耐受压力:175 psig(190 psia)
STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)
包装清单

MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器(电源需另行订购)
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书
配件(需另行订购)

过程端口接头和过滤器
 电源
 通讯线缆和转换线缆
 BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件

呼吸设备双向流量压力性能对比测试
按照与呼吸频率相符的流速,双向控制进出呼吸设备的流量,模拟人类呼吸。低压损的MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器还可在施加极小压力的情况下缓慢“呼吸”。

远程空气采样和校准双向流量控制
从一个方向利用真空泵完成大气采样,接着从另一个方向利用正压定期校准气体分析仪;对于前述所有操作,均无需断开系统任何部分。低压损的MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器产品允许在16.7lpm标准流量下完成体积流量采样。这使得在无人介入的情况下也能完成远程空气监测站的操作和校准。

MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器常用型号:
MCDW-0.5SCCM-D
MCDW-1SCCM-D
MCDW-2SCCM-D
MCDW-5SCCM-D
MCDW-10SCCM-D
MCDW-20SCCM-D
MCDW-50SCCM-D
MCDW-100SCCM-D
MCDW-200SCCM-D
MCDW-500SCCM-D
MCDW-1SLPM-D
MCDW-2SLPM-D

MCRDW-5SLPM-D
MCRDW-10SLPM-D
MCRDW-20SLPM-D
MCRDW-40SLPM-D
MCRDW-50SLPM-D
MCRDW-100SLPM-D
MCRDW-250SLPM-D
MCRDW-500SLPM-D

MCT系列换流型气体质量流量控制器
利用成比例流量控制功能完成换流
在多向气体质量流量控制器中,MCT系列换流型气体质量流量控制器可以减少库存并清理工作场所。位于上游的两个阀门允许切换气源。位于下游的两个阀门允许在单个气源上运行两个独立的过程系统。我们将根据您的应用参数,为您定制阀门和PID功能,确保实现各个方向的快速、温度控制。
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多功能。MCT系列换流型气体质量流量控制器将单个气源用于两个独立的过程系统或者在单个过程系统中实现两个独立气源的切换。切换气源时,选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
耐用。MCT系列换流型气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。

性能

可用量程:大0-5000 slpm;小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
可调比:20